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首台具有自主知识产权MOCVD设备问世

作者:站长 文章来源:同志科技 点击数: 更新时间:2008-6-3

    近日,由青岛杰生电气有限公司承担的国家863半导体照明工程重点项目氮化镓-MOCVD深紫外LED 材料生长设备制造取得重大突破,研制成功我国首台具有自主知识产权的、能够同时生长6片外延片的MOCVD设备。

  据悉,该设备集精密机械、半导体材料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机多学科为一体,是一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高的尖端光电子专用设备,在高亮度的蓝光发光二极管(LED)、激光器(LD)、紫外光电探测器、高效率太阳能电池、高频大功率电子器件领域中具有广泛应用,是半导体照明产业上游阶段关键设备。而目前,国内半导体照明产业的研发和生产所需设备全部依赖进口。


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